中圖SJ6000激光干涉儀品牌具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
SJ6000激光干涉儀光學(xué)測量儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺??蓹z測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
SJ6000數(shù)控機床激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
中圖儀器超精密激光干涉儀sj6000使用高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
除了環(huán)境適應(yīng)能力好,SJ6000超精密激光干涉儀在動態(tài)測量軟件配合下還可以進(jìn)行動態(tài)高速測量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。配備了EC20環(huán)境補償單元,由環(huán)境補償主機(內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器)、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成,可實現(xiàn)對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。
SJ6000光學(xué)激光干涉測量儀測量機床直角如機器軸垂直度誤差測量(數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機等),是通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度,即在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進(jìn)行比較,得出兩個軸的垂直度。
中圖儀器SJ6000機床測量用激光干涉儀測量過程全自動化,效率高。儀器集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償。
SJ6000工業(yè)激光干涉儀的靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表,該表涵蓋了各個測量點的補償值,運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,精確的補償,可以有效地降低運動軸的位置誤差。
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