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SJ6000工業(yè)精密激光干涉儀集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

GTS激光跟蹤空間坐標(biāo)測量儀與光學(xué)回射靶球配合組成三自由度激光跟蹤儀，能對大尺度空間內(nèi)的點、線、面、曲面等幾何特征進(jìn)行精確測量；與空間姿態(tài)探頭配合組成六自由度激光跟蹤儀，能夠根據(jù)合作目標(biāo)的精確空間姿態(tài)對被測工件的內(nèi)部特征、隱藏特征或曲面等復(fù)雜特征進(jìn)行快速、高精度的測量。

SJ6000激光干涉儀精密測量及校準(zhǔn)系統(tǒng)可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

中圖儀器GTS激光自動對準(zhǔn)跟蹤測量儀采用目標(biāo)球自動鎖定技術(shù)，目標(biāo)鎖定相機(jī)在斷光時會在小范圍內(nèi)自動搜索到目標(biāo)球，完成斷光續(xù)接，自動鎖定目標(biāo)球，全過程不需人為操作，提高測量效率。

中圖儀器GTS目標(biāo)球自動鎖定激光跟蹤測量儀目標(biāo)鎖定相機(jī)在斷光時會在小范圍內(nèi)自動搜索到目標(biāo)球，完成斷光續(xù)接，自動鎖定目標(biāo)球，全過程不需人為操作，提高測量效率。

SJ6000激光干涉機(jī)床校準(zhǔn)補(bǔ)償儀是一種高精度測量設(shè)備，采用邁克爾遜干涉原理進(jìn)行線性測量，可以測量機(jī)床的線性定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補(bǔ)償模塊，能夠自動補(bǔ)償激光波長和材料特性，從而確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

GTS激光定位跟蹤儀能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題，是高精度、便攜式的空間大尺寸坐標(biāo)測量機(jī)。

SJ6000導(dǎo)軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。