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中圖儀器單頻激光干涉儀SJ6000集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000機(jī)床性能激光干涉檢測儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn),可以用于測量機(jī)床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系,從而檢測和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機(jī)床在運(yùn)行過程中的變形和振動情況,及時發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài),保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。
SJ6000激光干涉精密測量校準(zhǔn)系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000機(jī)床傾斜軸線性角度激光干涉測量儀非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動系統(tǒng),不僅僅局限于運(yùn)動導(dǎo)軌,還可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
SJ6000運(yùn)動導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測儀集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000工業(yè)精密激光干涉儀集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000激光干涉儀精密測量及校準(zhǔn)系統(tǒng)可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
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