中圖儀器國內(nèi)白光干涉儀的重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達0.1nm。測件尺寸可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

中圖儀器國內(nèi)白光干涉儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

在光纖通信行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；

在集成電路行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在3C領(lǐng)域，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；

在LED行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；

在軍事領(lǐng)域，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度；

在EMES行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度；

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白光干涉儀由于鏡頭視野較小，要想測量物體整個區(qū)域的表面情況，只能用自動拼接測量功能，但耗時較多，這時候可以用自動多區(qū)域測量功能，在樣品表面抽取多個測量區(qū)域進行測量，從而對樣品進行評估分析。中圖儀器白光干涉儀支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。

技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術(shù)企業(yè)，致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐，專業(yè)覆蓋面廣，專項技術(shù)能力強，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。