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你可知激光干涉儀的特點是什么?

更新時間:2021-05-24      點擊次數(shù):973
   激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,激光干涉儀也是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等。它既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量,也可以對手表零件等微小運動進(jìn)行精密測量,既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量,也可以用于特殊場合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機(jī)存儲器上記錄槽間距的測量等等。
  激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等。
  激光干涉儀的特點及應(yīng)用:
  (1)接受信號為交流信號,前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器,不用直流放大,故沒有零點漂移等問題。
  (2)利用多普勒效應(yīng),計數(shù)器計頻率差的變化,不受激光強(qiáng)度和磁場變化的影響。在光強(qiáng)度衰減90%時仍可得到滿意的信號,這對于遠(yuǎn)距離測量是十分重要的,同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作。
  (3)測量精度不受空氣湍流的影響,無需預(yù)熱時間。
  用激光干涉儀作為機(jī)床的測量系統(tǒng)可以提高機(jī)床的精度和效率。起初僅用于高精度的磨床、鏜床和坐標(biāo)測量機(jī)上,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。但由于在一般機(jī)床上使用感應(yīng)同步器和光柵一般能達(dá)到精度要求,而激光儀器的抗振性和抗環(huán)境的干擾性能差,且價格較貴,目前在機(jī)械加工現(xiàn)場使用較少。
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