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微納米表面輪廓儀器及使用技巧

更新時(shí)間:2023-12-20      點(diǎn)擊次數(shù):670

在現(xiàn)代科技發(fā)展的今天,微納米表面輪廓形貌測(cè)量已成為許多領(lǐng)域的重要研究?jī)?nèi)容。微納米表面輪廓形貌的測(cè)量可以幫助我們了解材料的物理特性、表面形態(tài)以及質(zhì)量狀況。那么,有哪些微納米表面輪廓形貌測(cè)量?jī)x器?

1、白光干涉儀

白光干涉儀是一種常見(jiàn)的微納米表面輪廓儀測(cè)量?jī)x器,常用于研究產(chǎn)品的微觀形貌和粗糙度。它利用光的波長(zhǎng)差異產(chǎn)生干涉條紋,通過(guò)計(jì)算條紋的變化情況來(lái)確定物體表面的輪廓。

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針對(duì)完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求,W1白光干涉儀復(fù)合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見(jiàn)一絲重疊縫隙。

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白光干涉儀具有測(cè)量范圍寬、測(cè)量快速、精度高等優(yōu)點(diǎn),在許多領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。但主要還是用于產(chǎn)品微觀形貌測(cè)量,特別是從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量,精度一般是亞納米級(jí)別。

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2、共聚焦顯微鏡

共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理,對(duì)大傾角的產(chǎn)品有更好的成像效果。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)。大傾角超清納米測(cè)量,在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。

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微納米表面輪廓形貌測(cè)量?jī)x器的選擇取決于所需分辨率、材料類(lèi)型、實(shí)驗(yàn)條件等因素。選擇適合的測(cè)量?jī)x器對(duì)于準(zhǔn)確獲取樣品表面形貌和特征至關(guān)重要,有助于推進(jìn)科學(xué)研究和技術(shù)應(yīng)用的發(fā)展。


我們應(yīng)該怎樣使用?

微納米表面輪廓儀的使用技巧:

1. 準(zhǔn)備工作:在使用微納米表面輪廓儀進(jìn)行測(cè)量之前,需要對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)和調(diào)試。同時(shí),需要保證被測(cè)物體表面干凈、光滑,避免灰塵、油污等物質(zhì)的干擾。

2. 正確操作:在進(jìn)行測(cè)量時(shí),需嚴(yán)格按照儀器的操作手冊(cè)進(jìn)行操作。同時(shí),要注意保持儀器的穩(wěn)定性,避免震動(dòng)和溫度變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

3. 數(shù)據(jù)處理:測(cè)量完成后,需要對(duì)測(cè)量得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。通??梢允褂脤I(yè)的數(shù)據(jù)處理軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)導(dǎo)出、曲線擬合、參數(shù)計(jì)算等步驟,以獲得準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。

4. 維護(hù)保養(yǎng):長(zhǎng)期使用微納米表面輪廓儀需要注意儀器的維護(hù)保養(yǎng)。定期清潔儀器表面和光路,檢查和更換損壞部件,以保證儀器的正常使用和準(zhǔn)確測(cè)量。

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